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聚焦芯视野 | 苏州欧米特半导体显微镜:赋能芯片制造与封测的精密检测

2026-02-16(34)次浏览

  半导体产业是精密制造的,对检测设备的精度、稳定性和自动化程度要求极为严苛。从晶圆...

半导体产业是精密制造的,对检测设备的精度、稳定性和自动化程度要求极为严苛。从晶圆前道制程到后道封装测试,苏州欧米特半导体显微镜解决方案,为芯片的诞生与质量保驾护航。

专业特性:

  1. 高精度与大景深: 针对芯片表面复杂的三维结构(如凹凸不平的电路、Bump凸点),提供具有优异景深和分辨率的图像,确保在不同焦平面上都能获取清晰信息。

  2. 强大的缺陷检测能力: 搭配多种照明模式(如多角度环形光、同轴光),能高效凸显晶圆表面的颗粒污染、刻蚀残留、划痕、裂纹等各类缺陷,满足在线或离线检测需求。

  3. 防震与洁净设计: 设备平台具备优异的防震性能,隔绝环境微振动对高倍观测的影响。针对洁净室环境,可提供无尘化设计版本,防止设备成为污染源。

  4. 自动化与集成能力: 支持与自动平台、机械手集成,实现晶圆或芯片的自动上下料、多位置编程定位、自动对焦和批量扫描,满足半导体生产线高效率、高重复性的检测要求。

关键应用环节:

  • 晶圆制造(前道): 光刻后检查、刻蚀/沉积后检查、缺陷复查。

  • 封装与测试(后道): 芯片贴装(Die Attach)检查、引线键合(Wire Bond)质量检查、锡球(Bump)检测、封装外观检查。

  • 失效分析(FA): 辅助进行芯片开封后的电路探查和缺陷定位。

苏州欧米特半导体显微镜,以光学技术,服务于产业,是芯片品质不可或缺的“守护之眼”。


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