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近红外光电系统检测晶片瑕疵

2021-11-15(56)次浏览

  在可见光下无法捕捉到硅片表面的图像。连接一台近红外显微镜和一个近红外铟镓砷摄像机...

在可见光下无法捕捉到硅片表面的图像。连接一台近红外显微镜和一个近红外铟镓砷摄像机则可以打破这个限制,由此可以组成一个观测系统来检测晶片的瑕疵。

铟镓砷探测器对近红外区和波带范围为900nm到1700nm的短波红外区的能量尤为敏感。这一特性使得它在检测特定情况下的光电效应时功效卓越。例如,铟镓砷探测器可以探测到集成电路中晶体管故障时发出的微弱光信号,从而轻易地发现故障。


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